＜Equilibar EVRの特徴＞
●高精度
●多様な接続口径　1/4inch～4inch　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
●高CV値（最大CV160）
●高安定性
●真空損失が少ない
●高応答性　　　

＜作動原理＞

(EVR)は既存のレギュレーターやバルブとは根本的に異なった方法により機能します。
当製品は一つの大きなバルブシートに代わり柔軟なダイヤフラムにより遮蔽される複数のオリフィスを使用します。製品はダイアフラム上面の真空力により負荷され、入り口側の真空力をパイロット系真空力と近似すべく制御します。流量変化に伴いダイアフラムは一部若しくは全てのオリフィスを数ミリメーター開閉し、瞬時に摩擦のない制御をおこないます。

＜耐化学流体性/耐温度性＞

EVRはボディ材として316SS、アノダイズアルミニューム、又はPVCを、 O-リングとダイアフラム材は多様な真空環境向け素材で対応します。超高純度、有害な化学流体蒸気や湿分等に関わるプロセス用例に対峙します。オプションとして高温用も提供致します。

＜用例＞

●高速缶詰・充填のための高精度真空制御
●マテリアルハンドリング
●真空吸着式テーブル制御
●真空ピックアンドプレース
●バッテリー製造
●半導体製造におけるフロントエンド・オブ・ライン（FEOL）
●真空蒸留の制御
●真空乾燥・濃縮
●樹脂の押し出し成形（エクストリュージョン）