• 高精度
• 高圧
• デッドボリュームが小さい
• 幅広い流量範囲
• 超低流量
• 超低圧
• 高温
• マルチフェーズの流量に対応
• カスタマイズ可能
• 多種類の材質を用意

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概要
イクィリバー背圧レギュレータは、当社のコアテクノロジーです。唯一の可動部品として柔軟なダイヤフラムを採用することで、摩擦のない安定した動作を実現しています。
イクィリバーのドーム型多孔オリフィス設計は、瞬時の制御と、最も複雑な用途においても卓越した精度を提供します。

ドーム型背圧弁(BPR)とは
イクィリバーの背圧弁はすべてドーム型です。背圧弁は、入口の上流で一定の圧力を維持する装置です。入口の流体圧力がプロセス設定値を超えると、レギュレータが開いて過剰な圧力を解放します。 ドーム型圧力弁は、 プロセス設定値となる圧力を供給するために、弁の上部(ドーム)領域にガスまたは空気を供給します。ドーム内のガスの圧力は、パイロット弁と呼ばれる二次標準減圧弁によって設定されます。パイロット弁は、用途に応じて手動式または電子式を選択できます。イクィリバーは、BPRのパイロット圧力弁として最適な手動式減圧弁 と電子式減圧弁を販売しています。
イクィリバー独自のドーム型BPR設計は、柔軟なダイヤフラムを唯一の可動部品とするマルチオリフィス技術を採用しており、ヒステリシスや圧力割れのない摩擦のない動作を実現し、業界標準の100倍にも及ぶ超広範囲の流量範囲を提供します。その相乗効果のある設計により、最も厳しいプロセス条件下においても、ほぼ瞬時の制御と比類のない精度を実現します。

特徴
• 高精度
• 高圧
• デッドボリュームが小さい
• 幅広い流量範囲
• 超低流量
• 超低圧
• 高温
• マルチフェーズの流量に対応
• カスタマイズ可能
• 多種類の材質を用意

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